来源 :深交所互动易2025-03-06
cninfo1116538问汉钟精机(002158)董秘你好，最新消息称荷兰ASML公司将停止为国内的光刻机提供维修服务，作为拥有半导体真空泵技术的公司之一，请问贵司的半导体真空泵在功能、稳定性和耐用性方面是否能替代ASML光刻机里面的真空泵部件？
2025-03-04 16:21:10
汉钟精机答cninfo1116538
您好，公司真空泵可配套应用于半导体产业中拉晶、扩散、沉积、刻蚀、光刻、薄膜等制程。目前半导体真空泵营收还比较小，对公司整体业绩影响不大，感谢您的关注。
2025-03-06 20:45:12