来源 :深交所互动易2025-09-01
cninfo629866问汉钟精机(002158)董秘您好，请问我司半导体真空泵可适配多少纳米制程？公司设备是否通过 SEMI 认证？
2025-08-29 11:30:44
汉钟精机答cninfo629866
你好，半导体真空泵的核心功能是为半导体制造设备提供关键的真空环境，不局限于特定纳米制程节点，而是在各种制程工艺要求下，确保在规定时间内达到制程所需要的真空度。关于认证方面，公司半导体真空泵2017年就已通过SEMI认证。感谢您的关注。
2025-09-01 15:29:40