来源 :深交所互动易2024-03-04
飞天鸟问奥普光电(002338)董秘，您好！2023年您回复超精尺才可以用于DUV和EUV光刻机，我想问问，DUV光刻机和EUV光刻机相差那么大，必须都用超精尺？难道高精尺精度可以达到2nm，为啥不能用于DUV光刻机？而且超精尺研发需要数年时间，要实现根本性国产替代那不是希望还很遥远？
2024-02-27 22:45:06
奥普光电答飞天鸟
光栅尺是半导体设备的部件之一，其精度要求取决于整机的技术指标需求。我们会加强研发、努力攻关，满足整机厂家需求。感谢关注。
2024-03-04 16:37:24