来源 :深交所互动易2025-03-20
cninfo715186问奥普光电(002338)尊敬的董秘您好，官司的光栅尺是否可以用于DUV光刻机呢？高精尺和超精尺理论上讲是否可以EUV光刻机呢？
2025-02-24 22:21:49
奥普光电答cninfo715186
光栅尺是半导体设备的核心部件之一，理论上可用于半导体加工领域多种设备，但其精度要求取决于整机的技术指标需求。感谢关注。
2025-03-20 15:25:11