来源 :深交所互动易2024-10-14
cninfo779946问新时达(002527)董秘您好，公司的半导体机器人进展如何，是否有跟大厂商一起合作研发？
2024-10-09 15:49:10
新时达答cninfo779946
您好，目前公司半导体机器人已批量应用于国内多个晶圆厂产线，公司与国内半导体设备公司就机器人研发达成了相关合作，目前公司半导体机器人应用能够覆盖热处理、清洗、刻蚀、薄膜、黄光、减薄、键合等半导体前道和后道工艺制程。谢谢您！
2024-10-14 16:12:53