来源 :深交所互动易2026-06-18
irm1149216问新时达(002527)请问公司的晶圆半导体机器人，能否取代日本的晶圆半导体机器人？ 2026-06-16 10:13:56 新时达答irm1149216 您好，公司半导体机器人能够覆盖热处理、清洗、刻蚀、薄膜、黄光、减薄、键合等前/后道半导体工艺制程，实现了设备的国产化替代，目前公司半导体机器人业务占公司业务比重较小，敬请广大投资者注意投资风险，谢谢您！ 2026-06-18 20:45:33