来源 :深交所互动易2025-04-29
irm1711070问凯美特气(002549)光刻气是否是光刻机光源关键耗材，是否与流片环节有很强的绑定？
2025-04-11 18:27:37
凯美特气答irm1711070
尊敬的投资者，您好！电子特气被广泛应用于清洗、光刻、刻蚀、掺杂、外延沉积等半导体工艺制程中，电子特气的纯度对半导体及相关电子产品的生产至关重要，水汽、氧等杂质组分易使半导体表面生成氧化膜，影响电子器件的使用寿命，电子特气的质量决定了产品的性能、集成度、成品率，因此电子特气对生产环境和技术的要求都很苛刻，技术附加值较高，是半导体产业的“血液”，感谢您的提问，谢谢！
2025-04-29 15:45:11