来源 :深交所互动易2025-12-26
cninfo814670问山东章鼓(002598)董秘你好，据前期披露：公司的产品多级离心及高速离心真空泵可以应用在PCB半导体行业，目前已有部分业绩。请问贵公司的真空泵在半导体行业起到哪些作用？是否可运用于半导体洁净室？另是否还有其他设备也能用于洁净室？谢谢
2025-12-24 17:03:57
山东章鼓答cninfo814670
您好，公司多级离心及高速离心真空泵产品在 PCB 半导体行业应用广泛，既能通过真空吸附精准抓取芯片，保障生产精细操作，又能在 PCB 板钻机和锣机集尘工艺中高效收集粉尘，提升产品质量。在半导体洁净室，低真空度真空泵（小型引风机）可有序抽出室内空气，维持空气洁净度；同时，空调机组的循环风机也能助力洁净室空气循环，保障其稳定运行。感谢您的关注！
2025-12-26 08:36:40