来源 :深交所互动易2023-08-06
irm99609378问中瓷电子(003031)董秘您好，公司新产品静电卡盘主要用于哪些半导体设备中？按照券商研报公司是目前国内唯一一家可用于精密半导体设备的静电卡盘生产商，该观点是否属实？
2023-08-02 10:57:52
中瓷电子答irm99609378
尊敬的投资者，您好！公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件，具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能，应用于刻蚀机、涂胶显影机、光刻机、离子注入机等半导体关键设备中。公司已开发了精密陶瓷零部件用氧化铝、氮化铝核心材料和配套的金属化体系，建立了完善的精密陶瓷零部件制造工艺平台，开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证，实现了关键零部件的国产化，已批量应用于国产半导体关键设备中。谢谢您的关心。
2023-08-06 09:47:37