来源 :深交所互动易2023-09-06
胖胖大笨钟ben问中瓷电子(003031)公司表示开发的陶瓷产品具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能，可应用于刻蚀机、涂胶显影机、光刻机、离子注入机等半导体关键设备。请问公司在半导体领域国产替代的具体创新产品有哪些，是否已可批量供货，相关产品是否具有完全的自主产权和独家专利，是否同步有获得国内外相关专利技术。公司是否正在或计划与其他国内企业进行合作研发，将相关产品应用于刻蚀机、涂胶显影机、光刻机、离子注入机等设备。
2023-09-04 21:10:14
中瓷电子答胖胖大笨钟ben
您好！公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件，具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能，应用于刻蚀机、涂胶显影机、光刻机、离子注入机等半导体关键设备中。公司已开发了精密陶瓷零部件用氧化铝、氮化铝核心材料和配套的金属化体系，建立了完善的精密陶瓷零部件制造工艺平台，开发的陶瓷加热盘产品核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证，实现了关键零部件的国产化，已批量应用于国产半导体关键设备中。谢谢您的关心。
2023-09-06 18:37:13