来源 :深交所互动易2026-01-28
irm3057674问中瓷电子(003031)据悉公司提供的精密陶瓷零部件已经通过国内半导体设备厂商验证，请问是否实现了全链条自主可控，打破日本京瓷的垄断，解决了国内半导体厂商卡脖子问题
2026-01-22 16:09:26
中瓷电子答irm3057674
您好，公司在精密陶瓷零部件领域，已全面突破静电卡盘材料、设计和工艺各环节。陶瓷加热盘核心技术指标已达到国际同类产品水平并通过用户验证并批量供货；静电卡盘技术参数对标国际同类产品水平并通过用户上机验证，已有多款产品进入批量供货阶段，谢谢您的关心。
2026-01-28 16:38:03