来源 :深交所互动易2026-01-28
irm3057674问中瓷电子(003031)贵公司先进陶瓷静电卡盘精密陶瓷零部件等是否可用于晶圆制造（包括存储芯片）前道工艺设备
2026-01-22 16:01:05
中瓷电子答irm3057674
您好，公司精密陶瓷零部件是采用氧化铝、氮化铝等先进陶瓷经精密加工后制备的半导体设备用核心零部件，具有高强度、耐腐蚀、高精度等优异性能，应用于半导体关键设备中。公司陶瓷静电卡盘作为晶圆加工设备关键耗材，用于晶圆制造，谢谢您的关心。
2026-01-28 16:36:33