来源 :深交所互动易2023-03-27
cninfo840150问机器人(300024)赵董秘，是否可以介绍一下新松公司的在半导体设备方面的技术、产品的具体情况？
2023-03-17 08:51:22
机器人答cninfo840150
您好，公司半导体业务产品主要为真空机械手及集束型设备，包括大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM及真空传输平台，产品广泛应用于刻蚀/成膜等工艺环节中，服务的下游行业主要为半导体工艺设备厂商。公司大气机械手及EFEM产品有较夯实的市场基础，同时积极推进真空机械手产品的市场应用。目前，公司已完成多种两轴真空直驱机械手平台的研发，实现了小批量、多批次的客户端应用；三轴真空直驱机械手处于客户端验证阶段；四轴真空直驱机械手处于研发和内部测试阶段。感谢您的关注。
2023-03-27 22:24:39