来源 :深交所互动易2023-04-19
irm39910096问机器人(300024)尊敬的董秘你好！请问贵公司半导体设备如真空机械手、集束设备、晶圆传送模组、真空传输平台及其他刻蚀成膜乙艺设备等，是否自主研发、自主可控，是否实现了被国外少数半导体设备公司产品的替代？
2023-04-06 17:32:01
机器人答irm39910096
您好，公司在半导体装备业务方面的产品包括大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台，服务的下游行业是半导体工艺设备厂商。公司在真空机械手方面，两轴真空直驱机械手产品已实现小批量、多批次应用在客户端；三轴真空直驱机械手产品处于客户端验证阶段，其结合全新控制器软硬件平台的应用，可支撑下游客户的长期应用；四轴真空直驱机械手产品处于研发阶段。目前，公司已成功研发多款新型双臂真空机械手，部分产品已进入客户端验证阶段。感谢您的关注。
2023-04-19 17:20:08