来源 :深交所互动易2025-02-24
irm1827100问机器人(300024)机器人有没有可以给半导体洁净的机器人
2025-02-19 23:51:01
机器人答irm1827100
您好，公司半导体装备产品主要有大气机械手、真空机械手等系列产品、EFEM、真空传输平台，主要应用于刻蚀、薄膜、离子注入等工艺环节的晶圆传输及搬运。公司清洁机器人产品——星卫来，主要为工业清洁机器人，可应用于车间或洁净车间内。感谢关注。
2025-02-24 11:30:13