来源 :深交所互动易2021-12-22
科技成长问上海新阳(300236)李昊表示，“我们光刻胶产品包括I线胶、KrF胶、ArF干法和ArF湿法胶，EUV光刻胶也已经在和国外团队做前端研发。请问：ArF干法、ArF湿法胶、EUV光刻胶各种新产品进展如何？
2021-12-19 10:57:33
上海新阳答科技成长
尊敬的投资者：你好！公司ArF光刻胶处于验证阶段，而EUV光刻胶刚起步，尚在开发中。
2021-12-22 16:30:24