来源 :深交所互动易2022-07-25
cninfo1016104问上海新阳(300236)请问：公司与中芯北方搭建的ArF胶验证线，1400光刻机调试完成了吗？是否已开始ArF胶的验证工作？
2022-07-15 09:44:16
上海新阳答cninfo1016104
尊敬的投资者：你好！1400光刻机相关的验证平台，部分配套设备尚未到位，该平台整体验证工作未开始。公司的ArF光刻胶在客户端的认证工作进展当中。
2022-07-25 17:42:58