来源 :深交所互动易2025-02-12
irm1418152问上海新阳(300236)董秘您好，贵司在北方集成的光刻机正在验证的光刻胶是KRF，ARF还是两种都有？
2025-01-06 18:15:16
上海新阳答irm1418152
尊敬的投资者：你好！在北方集成的光刻机为ASML-1400，进行ArF验证开发。
2025-02-12 15:45:12