来源 :粉体圈2022-03-09
3月8日，晶盛机电通过公众号宣布，公司晶体实验室成功开发出可制备高品质宝石级金刚石晶体的全自动MPCVD(微波等离子体化学气相沉积)法生长设备(型号XJL200A)。
金刚石生长炉
由于宽带隙、高击穿电场、高载流子迁移率和高热导率，金刚石也被誉为“终极半导体”!但是，如何制备出大尺寸、高品质单晶金刚石则是制约其应用的主要瓶颈。据了解，MPCVD由于其微波能量无污染、气体原料纯净、没有催化剂和杂质的掺入等优势，成为众多制备方法中最有发展前景的技术之一。
此次XJL200A金刚石生长炉还成功解决了传统的MPCVD培育钻石生长技术的行业痛点：对多晶及生长裂纹等缺陷的判断、对晶体温度和生长厚度等关键生长参数的控制都依赖人工判断，克服了目前人工培育钻石过程中质量控制和规模化生产的瓶颈。该设备经过长晶测试表明，能一次可以实现20颗以上4-5克拉毛坯钻石的生产能力，设备稳定性好，综合生长良率高，为大规模的生产提供了自动化操作的基础。项目负责人表示，目前已经完成了设备定型和批量工艺开发，设备即将投放市场，能为客户提供一站式解决方案。
本次宝石级MPCVD法金刚石生长炉的成功研发，标志着晶盛机电依托其强大的技术研发力量，目前已成为包括金刚石、硅、蓝宝石、碳化硅等较为全面的晶体生长设备研发商。