因光刻机“乌龙”事件，苏大维格被持续追责。
10月13日，证监会通报苏大维格信息披露违法违规案查办最新进展称，经查，苏大维格生产的光刻机实际为“激光直写光刻设备”，与大众通常认为的生产芯片的光刻机并非同一概念。公司在投资者互动平台将“光刻机”和“芯片光刻机”并用，让普通投资者难以准确区分，构成误导性陈述。证监会拟对苏大维格处以150万元罚款，并对相关责任人员处以100万元罚款。
混淆“光刻设备”和“光刻机”
回顾此前，苏大维格在投资者互动中提到“光刻机”“龙头芯片公司”等表述，受到媒体和投资者广泛质疑，并引起股价大幅波动。
9月8日，有投资者在互动平台上向苏大维格询问，公司光刻机及相关技术有哪些知名企业在使用？
9月14日，苏大维格回复称，公司光刻机已实现向国内龙头芯片企业的销售，并已实现向日本、韩国、以色列等国家的出口；同时，公司向国内相关芯片光刻机厂商提供了定位光栅尺部件。
9月14日，苏大维格在投资者关系互动平台上回复提问时表示“公司光刻机已实现向国内龙头芯片企业的销售，并已实现向日本、韩国、以色列等国家出口，同时，公司向国内相关芯片光刻机厂商提供了定位光栅尺部件”。
公司前述回复发布后，公司股价迅速转涨，当天苏大维格20cm涨停，报收于33.12元/股。
9月15日，交易所即向苏大维格下发关注函，要求公司说明所生产光刻设备的具体类型、主要客户及下游用途，以及最近一年一期境内外销售情况等。
10月8日晚间，苏大维格公布了关注函回复，以及收到证监会的立案通知。立案告知书显示，因苏大维格涉嫌信息披露违法违规，中国证监会决定对苏大维格立案调查。
10月12日，交易所也再次向苏大维格下发关注函，交易所将对上市公司及相关违规当事人启动纪律处分程序。
苏大维格罚150万董秘罚100万
10月13日晚间，苏大维格公告了江苏证监局发出的《行政处罚事先告知书》，“真假光刻机”风波的监管调查定性。
告知书表示，公司前述回复所称已实现销售和出口的“光刻机”实际为用于制造微纳光学材料、掩膜等的直写光刻设备，而非用于芯片制造的光刻机，该“光刻机”与回
复中所称的“芯片光刻机”存在显著差异。公司未能准确、完整地披露公司销售的光刻设备的种类和具体应用领域，且在回复中将“光刻机”和“芯片光刻机”
并用，具有误导性。证监会决定，拟对公司给予警告，并处以一百五十万元罚款。
此外，告知书中还表示，苏大维格董事会秘书蒋林负责公司对投资者在深交所互动易平台所提问题的回复工作，其在明知芯片光刻机概念系当时市场热点的情况下，将公司证券部门草拟的针对投资者提问回复初稿中“直写光刻设备”的表述修改为“光刻机”，刻意混淆直写光刻设备与芯片光刻机的区别，并决定发布。
因此，蒋林系此次违法行为的直接负责的主管人员，决定拟对蒋林给予警告，并处以100万元罚款。根据苏大维格2022年年报，董事会秘书蒋林2022年从公司获得的税前报酬总额为112万元。
此前曾多次使用“光刻机”一词
值得注意的是，这并非苏大维格第一次使用光刻机的表达，其首次将“光刻机”一词写入日常公告披露中为2015年年报，公告中表示“公司依靠先进的技术研发能力实现了从源头的光刻机制造，到个性化图形的微纳结构设计，原版开发及批量生产模具的翻制，完全实现自我供给。”
而在此后2019——2022年光刻机一词均多次在年度报告中被提及，于8月25日发布的2023年半年度报告中，全文使用光刻机一词6次。
尽管频频蹭“光刻机”概念，但是苏大维格业绩却大幅下滑，2021年亏损3.49亿元，2022年亏损2.79亿元。2023年上半年，苏大维格实现营业收入7.88亿元，较上年同期下滑10.47%。
公司股价也上演了过山车行情。历经一段时间大涨，苏大维格股价在9月18日开始出现大跌，其中9月18日、19日、20日分别收跌9.11%、11.63%、4.73%。