来源 :深交所互动易2023-10-27
cninfo451094问中泰股份(300435)英特尔、三星、美光、台积电等芯片巨头的大量电子气装置中核心的板翅式换热器均由公司供应。请问这些电子气装置是否是EUV光刻机使用时的必须装备的配套装置？
2023-09-13 12:29:23
中泰股份答cninfo451094
您好，公司电子气装置不但可以用于大宗的电子保护气，也具备制取氪气氙气等稀有气体的能力。部分稀有气体亦是刻蚀气体的重要组成部分。
2023-10-27 16:19:14