来源 :深交所互动易2021-08-11
cninfo688731问精测电子(300567)请问上海精测半导体为中芯国际制造的12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）使用情况如何？有没有后续订单？
2021-08-09 14:53:47
精测电子答cninfo688731
您好！公司7月份出机中芯国际的半导体检测设备为12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备目前处在装机调试中。感谢您对公司的关注，谢谢！
2021-08-11 15:32:22