来源 :深交所互动易2025-11-27
irm2270822问精测电子(300567)董秘您好，请问子公司北京精测半导体研发的准分子激光器，是否采用 Ar （氩）和 F?（氟气）混合气体放电方案产生 193nm 深紫外激光？
2025-11-24 23:58:10
精测电子答irm2270822
您好！北京精测半导体目前研发的准分子激光器未采用该技术路线。感谢您对公司的关注，谢谢！
2025-11-27 17:23:40