晶瑞电材KrF光刻机已经到位 预计半年内正式投产

　　晶瑞电材在互动易上表示，公司近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试。同时公司KrF光刻胶量化生产线正在积极建设中。财联社记者从接近公司的人士处获悉，该产线预计在半年内正式投产。