来源 :半导体行业联盟2021-12-09
用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。不过，近日，国内半导体厂导入光刻机又有了最新进展。英诺赛科（珠海）科技有限公司成功导入ASML光刻机实现氮化镓量产；晶瑞电材也表示，公司近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试。
12月8日，有投资者向晶瑞电材提问，晶瑞电材是否拥有KrF光刻机？是否具备批量生产KrF光刻胶的条件？
晶瑞电材表示，公司近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，同时公司KrF光刻胶量产化生产线正在积极建设中。
此前，晶瑞电材已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机，再加之此次购得的KrF光刻机，晶瑞电材已经到位5台光刻机。
据悉，目前晶瑞电材KrF光刻胶已经完成中试，进入了客户测试验证阶段。这意味着，此次晶瑞电材新购得深紫外线KrF光刻机后，可以快速投建其KrF光刻胶产线，加速其KrF光刻胶量产化进程，也是其KrF光刻胶量产并导入晶圆厂的最后一步。
关于公司的主导产品，晶瑞电材表示，公司的主导产品包括光刻胶及配套材料、超净高纯试剂、锂电池材料和基础化工材料等，广泛应用于半导体、新能源、基础化工等行业，主要应用到下游电子产品生产过程的清洗、光刻、显影、蚀刻、去膜、浆料制备等工艺环节。公司专业从事微电子化学品的产品研发、生产和销售。公司经过多年研发和积累，超净高纯试剂主要产品达到国际最高纯度等级（G5），打破了国外技术垄断，制定了多项行业标准；被中国电子材料行业协会评为“中国电子化学品十强企业”，光刻胶产品规模化生产近30年，达到国际中高级水准，是国内最早规模量产光刻胶的少数几家企业之一。
晶瑞电材新增的KrF光刻机除了加快公司KrF光刻胶产品的验证调试节奏，还为后续量产线的建成奠定必要基础。目前，半导体国产替代已成为行业共识，在缺芯和晶圆厂产能扩张的推动下，上游半导体制造材料的需求持续高涨。未来随着光刻胶业务逐步放量生产，光刻胶业务与新能源材料业务及其他半导体业务齐头并进，晶瑞电材将会保持行业领先的地位继续高速发展，进一步巩固自己的龙头地位。