来源 :深交所互动易2022-01-19
cninfo638509问晶瑞电材(300655)请问公司现在已经采购到几台光刻机用于产品研发测试了？分别都是哪种类型的？后续还有哪些光刻胶采购计划？
2021-06-11 06:39:46
晶瑞电材答cninfo638509
尊敬的投资者您好！公司近期已购得KrF光刻机一台，可用于KrF光刻胶的曝光测试，此前，公司已经购得用于负胶、g线、i线、ArF等4台光刻机，再加之此次购得的KrF光刻机，公司已经到位5台光刻机。谢谢您对我公司的关注与支持！
2022-01-19 16:39:51