来源 :深交所互动易2025-10-31
irm1881875问晶瑞电材(300655)贵司曾购买两台光刻机，能否介绍一下这两台光刻机用于研发光刻胶的适用制程？
2025-10-17 21:21:14
晶瑞电材答irm1881875
尊敬的投资者您好！公司共有5台光刻机及其配套设备，分别用于紫外宽谱、g线、i线、KrF和ArF产品的研发以及量产。感谢您对公司的关注与支持！
2025-10-31 20:45:11