来源 :深交所互动易2023-08-31
微光Van问江丰电子(300666)你好，请问GPU芯片制造过程中是否需要用到靶材，具体属于哪一环节上应用到？
2023-08-25 09:57:25
江丰电子答微光Van
您好！超高纯金属溅射靶材是制造芯片互连导线的关键材料，其基本原理是采用物理气相沉积（PVD）技术将超高纯金属原子沉积于晶圆表面形成薄膜，后续通过光刻、刻蚀等工艺形成芯片互连导线。感谢您的关注！
2023-08-31 17:22:53