来源 :金融界2023-12-30
金融界2023年12月30日消息，据国家知识产权局公告，宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种平面工件的吹干方法”，公开号CN117308559A，申请日期为2023年9月。
专利摘要显示，本发明涉及一种平面工件的吹干方法，所述吹干方法包括：将待吹干的平面工件进行吹干作业；所述吹干作业包括采用至少有2个风头的吹风头进行吹干，过程中所述风头进行第一自转旋转和公转旋转，所述平面工件进行第二自转旋转；所述第一自转旋转的方向和公转旋转的方向相反；所述公转旋转的方向与所述第二自转旋转的方向相反；所述第一自转旋转的转速＞所述第二自转旋转的转速＞所述公转旋转的转速。本发明提供的吹干方法，通过对吹干过程进行设计，采用吹风头旋转和平面工件旋转的方式实现了对工件的高效吹干，可以避免工件在吹干后出现残留痕迹如水渍油渍等，从而提升靶材进行溅射镀膜的使用性能，提升溅射镀膜所得膜层的效果。