江丰电子申请氧化锆涂层专利，能够有效对靶材及背板进行保护

　　金融界2024年1月6日消息，据国家知识产权局公告，宁波江丰电子材料股份有限公司申请一项名为“一种陶瓷靶材用背板的氧化锆涂层及其制备方法和应用“，公开号CN117344263A，申请日期为2023年10月。

　　专利摘要显示，本发明提供一种陶瓷靶材用背板的氧化锆涂层及其制备方法和应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)将背板的非喷涂区域进行覆盖保护，并对喷涂区域进行冷喷砂处理；(2)对冷喷砂处理后的背板的非喷涂区域进行覆盖保护，并进行预热；(3)采用等离子喷涂工艺对所述喷涂区域进行氧化锆喷涂，得到氧化锆涂层。本发明采用等离子喷涂法制备了一种陶瓷靶材用背板的氧化锆涂层，该氧化锆涂层的致密度≥95％，纯度≥99.95％，微观均匀致密，绝缘性能优良，能够有效得对靶材及背板进行保护。