江丰电子取得含铝靶材及其制备方法专利，能够提高镀膜的质量

　　2024年2月1日消息，据国家知识产权局公告，宁波江丰电子材料股份有限公司取得一项名为“一种含铝靶材及其制备方法“，授权公告号CN114717525B，申请日期为2022年4月。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种含铝靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将含铝靶材坯料依次进行锻造、一次热处理、冷压、二次热处理和冷轧，得到含铝靶材。本发明所述方法根据靶材的材质选择合适的制备工艺，通过对热处理及轧制工艺的控制，优化靶材的内部组织结构，对其再结晶过程进行调控，以此控制其再结晶度及晶粒尺寸的均匀性，从而能够提高靶材溅射时镀膜的均匀性，提高镀膜的质量；所述方法操作简单，所需成本较低，应用范围较广。