江丰电子取得长寿命钛靶材专利，大幅度延长了钛靶材的使用寿命

　　2024年3月6日消息，据国家知识产权局公告，宁波江丰电子材料股份有限公司取得一项名为“一种长寿命钛靶材“，授权公告号CN220555716U，申请日期为2023年8月。

　　专利摘要显示，本实用新型提供一种长寿命钛靶材，所述长寿命钛靶材的溅射面包括中心凸台和设置在中心凸台周围的周边凸台；所述周边凸台包括沿着中心凸台依次向外排列的第一凸台、第二凸台和第三凸台。本实用新型所述的长寿命钛靶材，通过在靶材溅射面特殊设置了不同尺寸的凸台，满足溅射使用的实际需要，大幅度延长了钛靶材的使用寿命，降低了靶材生产成本，应用前景广阔。