来源 :深交所互动易2023-05-26
Jo_chen问国林科技(300786)可否介绍一下产品薄膜沉积设备应用？
2023-05-24 05:27:20
国林科技答Jo_chen
尊敬的投资者，您好。公司目前研制的高浓度臭氧气体发生器设备可用于薄膜沉积工艺的氧化成膜，传统的薄膜沉积制成方法有三种：PVD、CVD、ALD，PVD属于物理方法，CVD、ALD主要利用臭氧通过化学反应在硅片表面形成薄膜保护。感谢您的关注。
2023-05-26 09:08:00