来源 :深交所互动易2023-09-14
cninfo1016249问国林科技(300786)Hello董秘大大能否了解下臭氧是否用于光刻机清理呢？目前贵司臭氧清理半导体设备出货如何，谢谢
2023-09-12 13:30:07
国林科技答cninfo1016249
尊敬的投资者，您好。臭氧具有很高的氧化还原电位，具有强氧化特性、高活性的特点，近年来臭氧被认为是一种低成本的“绿色”化学品，是大多数应用的良好选择，已被广泛应用于电子工业中。典型的臭氧应用包括：化学气相沉积（CVD）、原子层薄膜沉积（ALD）、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除、表面处理和氧化物生长等工艺制程中。子公司国林半导体产品从2022年下半年开始进行市场导入，2023年以来陆续在半导体、面板、科研等行业领域出货验证，未来公司的工作重点将围绕产品市场推广及产品迭代展开，详细业绩情况请关注公司定期报告。感谢您的关注。
2023-09-14 11:45:19