来源 :深交所互动易2023-09-18
irm6225182问国林科技(300786)请问公司旗下半导体公司官网显示的电子级超纯臭氧发生器的主要应用在哪？
2023-09-18 11:06:35
国林科技答irm6225182
尊敬的投资者，您好。采用高浓度、超纯净、深度精细工艺的臭氧实现技术是该发生器实现的基础，能够产生高浓度、大量流量、高压力的超洁净臭氧。臭氧可被电子工业用于形成 CVD 和 ALD 薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用。感谢您的关注。
2023-09-18 17:10:54