来源 :全景网2023-11-09
国林科技（300786）于11月8日在全景网参加2023年青岛辖区上市公司投资者网上集体接待日，在线上交流活动中，公司董事会秘书胡文佳在回答投资者提问时表示，目前半导体臭氧清洗工艺用“高浓度臭氧发生器”产品市场主要由美国、日本等国外厂商占据，国产设备在先进制程中目前尚处于验证阶段。公司目前拥有并掌握了半导体行业用臭氧清洗设备制造及设计工艺多项关键技术，公司产品目前可实现臭氧发生、臭氧分解相关材料、核心零部件、成品，臭氧电源、控制系统、逻辑程序等自主研发与制造。
公开资料显示，国林科技专业从事臭氧产生机理研究、臭氧设备设计与制造、臭氧应用工程方案设计与臭氧系统设备安装、调试、运行及维护。