来源 :财联社2024-05-30
5月30日电，有投资者问，请问公司在光刻胶和光刻机方面有哪些技术和产品？国林科技在互动平台表示，公司电子级超纯臭氧气体发生器可产生高浓度、大流量、高压力的超洁净臭氧，臭氧在电子工业领域可被广泛用于形成CVD和ALD薄膜、氧化物生长、光刻胶去除和多种清洁应用；公司暂未涉及光刻机业务。