来源 :深交所互动易2025-08-11
irm1347477问国林科技(300786)公司哪些半导体设备用于环绕式栅极gaa和finfet先进工艺？
2025-08-05 16:21:37
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者，您好。公司的臭氧气体发生器，臭氧水发生器以及氨水发生器等设备均可以用于该工艺，特别是先进前道工艺的前端与后端处理中。感谢您的关注。
2025-08-11 08:39:40