来源 :深交所互动易2025-08-15
irm1347477问国林科技(300786)公司半导体设备产生的半导体级气体（臭氧、二氧化碳、氨气）能达到多少N的纯度？
2025-08-13 10:02:00
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者，您好。半导体设备产生的半导体级气体（臭氧、二氧化碳、氨气）无法用纯度标定，只能以洁净度或者浓度指标参数来描述。感谢您的关注。
2025-08-15 15:54:40