来源 :深交所互动易2025-08-15
irm1347477问国林科技(300786)公司的半导体臭氧设备能否对提升国产晶圆及芯片的良率提供帮助？具体提高良率的原理是什么？
2025-08-12 12:38:26
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者，您好。公司自主研发的半导体专用臭氧系统设备具备高浓度、高精度、高纯度及高稳定性的技术特点。在晶圆清洗环节，臭氧水可高效去除表面有机污染物和金属杂质，避免残留物导致的电路短路或性能缺陷，臭氧气体发生器在氧化工艺中形成均匀致密的氧化层，提升器件电性能，可以有效提升产品良率。感谢您的关注。
2025-08-15 15:52:10