来源 :深交所互动易2025-09-15
irm1347477问国林科技(300786)公司在cmp工艺中的技术设备应用？
2025-09-07 14:24:02
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者，您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括化学气相沉积、原子层薄膜沉积、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除、表面处理、氧化物生成等工艺制程，目前被广泛应用于电子工业中。子公司国林半导体现有产品包括：半导体级超纯臭氧气体发生器、臭氧气体输送系统、半导体级高浓度臭氧水系统、DI-NH3氨水输送系统、二氧化碳水发生器、臭氧水杀菌系统、臭氧气体尾气分解器、臭氧水分解器、臭氧气体浓度检测仪、臭氧水溶浓度检测仪等产品；详细产品介绍您可以关注公司官网信息。感谢您的关注。
2025-09-15 20:45:11