来源 :深交所互动易2026-03-30
irm1347477问国林科技(300786)请问公司，目前臭氧水清洗和臭氧薄膜沉积、臭氧原子层沉积，在国内的半导体市场应用情况如何？是否能够成为主流？
2026-03-27 11:04:52
国林科技答irm1347477
尊敬的投资者，您好。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程，子公司国林半导体现有产品可以满足上述工艺制程的应用需求。感谢您的关注。
2026-03-30 15:00:04