钢研纳克：子公司纳克微束的产品场发射扫描电镜可用于光刻胶缺陷分析

　　钢研纳克9月7日在互动平台回答投资者提问时表示，子公司纳克微束的产品场发射扫描电镜可以用于光刻胶缺陷分析。