来源 :深交所互动易2023-07-04
泽润投资问英杰电气(300820)董秘您好！我看公司在SEMICON展士了应用于半导体产业链的多个电源新产品机电源解决方案。想咨询您的士，公司在锗Ge、硅Si等至第四代Ga2O3、金刚石C等半导体材料方面的电源产品是已经有实现销售了吗？对应下游客户是哪一类？就是公司公众号文章说，公司在半导体制程电源方面实现了多个产品的进口替代，其中有包括离子注入机、刻蚀机和薄膜沉积设备的电源吗？
2023-07-03 22:28:50
英杰电气答泽润投资
您好！公司在第三代半导体材料碳化硅制造设备上有电源配套，也属于进口替代产品，目前该行业主流厂商和公司均有业务。MOVCD设备上的可编程直流电源，公司已经实现多年的进口替代，今年在刻蚀、离子注入等工艺环节也有进口替代的电源研发，目前处于样机后期测试阶段，谢谢您的关注。
2023-07-04 16:29:11