来源 :深交所互动易2023-09-11
鱼线鲅问英杰电气(300820)您好！请问公司电源有没有在光刻机相关设备内使用？
2023-09-11 10:37:58
英杰电气答鱼线鲅
您好！据我们了解，光刻机的技术难点主要体现在光学技术上，公司当前研发的包括射频电源在内的各类应用于半导体行业的电源，主要应用在半导体芯片的刻蚀、薄膜沉积、等离子注入、清洗、去胶这些工序环节以及半导体材料制造设备上，光伏电池片行业也有射频电源的运用，谢谢您的关注。
2023-09-11 17:44:23