英杰电气MSB中频溅射电源

　　如今，随着量产的PERC电池片光电转换效率逐渐接近其理论效率，电池片行业开始向TOPCon/HJT等N型电池转向。其中，TOPCon以其电池效率高、设备同投资成本低、与PERC产线兼容性高等特点，率先实现大规模量产。据不完全统计，2023年以来，TOPCon产业化进程持续加速，2022年底我国TOPCon电池产能约为100GW，预计到2023年底上升至400＋GW，未来规划产能则在800GW以上。

　　PECVD是TOPCon电池片生产的关键设备之一，可用于制备poly-Si、SiNx、Al2O3膜层。射频电源是PECVD的核心零部件，PECVD工艺过程中射频电源电离腔体内的气体，使其发生化学反应，最终沉积在硅片表面。电源的响应时间、稳定度、灭弧能力都对工艺有着至关重要的影响。

　　

　　英杰电气MSB中频溅射电源凭借高速AD采集结合优异的调制技术，使电源的稳定得到极大的提升，最大程度的减少工艺过程中的高频报警。采用软开关技术，结合第三代功率半导体SiC为核心器件，器件热应力小、长期工作可靠性高、效率优异。多种灭弧识别方式，灭弧响应迅速，弧光残余能量小，提高了薄膜沉积质量，大力提高了客户生产效率以及行业竞争优势。

　　A客户应用现场：

　　

　　A客户采用多套MSB2040A-600／50-T4／NN／K电源，在现场英杰电气完全替代进口电源，同时凭借高速AD采集结合优异的调制技术，电源长期使用稳定可靠，最大程度减少工艺过程中的高频报警。

　　B客户应用现场：

　　

　　B用户现场正背膜机台均采用英杰电气MSB2040A-600／50-T4／NN／K电源，现场机台全部正常开启，目前已稳定投产。

　　经过运行、使用可以看出，英杰电气MSB中频溅射电源运行稳定，性能出色，凭借机架式安装方式、快速的电弧响应，响应时间 100ns、低能量储存 0.5mJ/kW等优点，为产线提供了可靠的电力支持，节能效果显著，为客户大力提升了生产效率。