英杰电气：争取在明年实现射频电源机台的全面覆盖

　　英杰电气接受调研时表示，射频电源的研发过程还是比较长的，公司去年的出货量（测试样机）都很少，今年尤其是今年七月份以后就开始逐渐起量了，目前主要的两家客户都在起量，但批量供应的也只是其中部分机台的射频电源，其余机台的电源也在研发，目前研发推进情况良好，争取在明年实现机台的全面覆盖，并相继完成批量供应。除了两家主要客户以外，公司还在和多家企业接触，针对他们的设备需求进行电源研发、提供样机。不光是刻蚀机和pecvd设备的电源，还有清洗、去胶等工艺环节的设备电源，只是由于其他企业和公司接触的时间较晚，研发推进的进度相对此前的客户要慢一些。