来源 :深交所互动易2025-09-18
irm2659266问英杰电气(300820)据传贵公司为国产光刻机“羲之”提高核心电源，此消息是否属实
2025-09-17 12:28:09
英杰电气答irm2659266
您好，公司在半导体先进制程环节的电源供应主要是在刻蚀和薄膜沉积环节，主要作用是产生和控制等离子体，与光刻机电源的工艺目的和环境差异很大，属于不同种类的电源，目前公司暂无光刻机电源供应，谢谢您的关注。
2025-09-18 20:45:40