来源 :深交所互动易2025-08-20
irm1249921问同飞股份(300990)同飞股份的氟化液制冷机组精度达到±0.02°的超高精度温控，这一技术指标在半导体设备温控领域有何重要意义？公司是如何实现这一高精度控制的？
2025-08-16 09:30:11
同飞股份答irm1249921
尊敬的投资者您好，公司采用分段PID控制结合电热补偿的技术方案，实现高精度温控，感谢您的关注。
2025-08-20 17:07:40