来源 :同飞股份2025-12-24
近日， 同飞股份 SC3FI系列三通道氟化液冷却机顺利通过各项测试，正式完成交付并投入使用。这款针对性研发的温控设备，精准匹配半导体制造刻蚀（ETCH）工序的冷却需求，为半导体加工制造环节的稳定高效运行，注入强劲动力。
在半导体制造过程中，刻蚀工序作为关键环节，对温度控制精度与设备运行稳定性有着极高要求，冷却系统的性能直接影响芯片制造的良率与效率。 同飞股份 深耕半导体领域温控技术多年，此次推出的SC3FI系列三通道冷却机，凭借多项核心技术突破，精准契合行业痛点。
核心技术突破 ▼
Core Technology Breakthrough
作为设备的核心优势，SC3FI系列创新采用“三路供液设计+三系 统独 立控温架构”，三个通道可实现精准独立调控，互不干扰，且涵盖-20℃低温与170℃高温双重配置，能深度适配刻蚀工序多环节的差异化温控需求，为先进制程提供全方位温控保障。
匠心设计 ▼
Ingenious Craftsmanship in Design
在产品设计上，该系列冷却机采用一体化集成方案，结构紧凑简洁，可有效节省Fab厂安装空间，完美适配半导体Fab厂有限的布局需求。同时，设备采用闭式系统搭配卡套接头设计，可显著抑制氟化液挥发，既降低耗材损耗成本，又减少挥发气体对Fab厂环境的影响，实现环保与经济的双重效益。
性能卓越 ▼
Superior Performance
SC3FI系列依托先进的PID控制算法，实现±0.1℃的高精度控温，为刻蚀工序营造稳定的温度环境，保障工艺稳定性；搭载变频技术，进一步提升设备能效，在满足冷却需求的同时降低能耗，精准契合绿色制造的行业趋势。
此外，设备还配备高清液晶显示屏，支持实时数据可视化查看，同时具备上位机通讯功能，便于工作人员实时监控设备运行状态、追溯历史数据，大幅提升Fab厂管理效率。
同飞股份 研发团队始终秉持持续创新的理念，聚焦半导体加工制造各工序的特殊需求，不断打磨产品技术、优化产品方案，推出多款适配行业发展的优质温控设备。此次SC3FI系列三通道氟化液冷却机的顺利交付，既是团队研发实力的有力印证，又为 同飞股份 进一步深耕半导体温控领域奠定了坚实基础。未来， 同飞股份 将继续以技术创新为核心，持续为半导体行业提供更高效、更可靠的温控解决方案，助力中国半导体产业高质量发展。
三河同飞制冷股份有限公司（股票代码：300990）深交所A股上市公司，是国内专业的工业温控解决方案服务商，公司致力于为半导体、数控装备、储能、电力电子、数据中心、氢能、新能源汽车（充换电）、医疗器械等领域提供专业温控产品，并不断拓宽产业化发展之路。